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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 77086
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61 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1167
60 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 1162
59 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1144
58 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1140
57 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 1138
56 플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation] [1] 1136
55 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1134
54 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 1112
53 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 1044
52 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 1044
51 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 1022
50 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 999
49 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 992
48 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 982
47 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 960
46 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 957
45 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 957
44 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 956
43 self bias [쉬스와 표면 전위] [1] 919
42 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 893
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