안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.

보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다

그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다

또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.

기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92246
53 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
52 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 664
51 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 634
50 plasma 공정 중 색변화 [1] 602
49 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
48 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
47 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
46 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
45 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
44 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
43 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 555
42 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
41 self bias [1] 527
40 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 504
39 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
38 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
37 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
36 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
35 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
34 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 454

Boards


XE Login