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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27842
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65114
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76939
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111200
21 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 645
20 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 641
19 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 638
18 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 582
17 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 570
16 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 570
15 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 552
14 Druyvesteyn Distribution 541
13 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 526
12 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 525
11 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 516
10 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 514
9 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 489
8 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 488
7 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 486
6 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 484
5 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 456
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 456
3 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 455
2 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 415
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