안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20134
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68660
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92084
153 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6163
152 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5920
151 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5667
150 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5134
149 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4785
148 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4153
147 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3943
146 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3715
145 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3708
144 Descum 관련 문의 사항. [1] 3707
143 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3556
142 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3440
141 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3426
140 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3391
139 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3347
138 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3260
137 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3186
136 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3164
135 CVD 공정에서의 self bias [1] 3082
134 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2748

Boards


XE Login