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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61093
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97 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1754
96 플라즈마볼 제작시 [1] file 1719
95 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1638
94 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1456
93 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1442
92 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1359
91 질문있습니다. [1] 1345
90 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1258
89 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1236
88 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1236
87 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1231
86 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1191
85 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1179
84 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1158
83 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1126
82 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1118
81 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1114
80 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1064
79 플라즈마 기초입니다 [1] 1030
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