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122 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2155
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119 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2038
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117 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1894
116 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1875
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113 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1833
112 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1674
111 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1669

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