Ion/Electron Temperature RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문

2017.06.06 16:47

전자과학생 조회 수:2397

RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다  커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103429
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24731
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61553
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73532
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105984
141 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3239
140 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2982
139 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2977
138 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2968
137 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2818
136 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 2817
135 플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전] [1] file 2706
134 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 2677
133 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2655
132 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2637
131 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2591
130 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2562
129 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2482
128 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2448
127 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2416
126 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 2415
125 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2405
124 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 2398
» RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2397
122 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2372
쓰기
태그

Boards

XE Login