Sheath ICP에 대하여

2004.06.25 13:03

관리자 조회 수:18036 추천:246


====================================<질문>===================================

전 대학원에서 ICP장비를 이번부터 배우려고 하는 학생입니다.
sheath 영역은 플라즈마 장비를 배우는데, 그보다도 플라즈마를 배우는데 매우 중요한 것으로 알고 있습니다. 좀더 이 영역에 대한 좀더 자세한 내용을 알고 싶은데 어디에서 찾을 수 있을지 궁굼합니다. 그리고 selective etching에대해 알고 싶습니다.

====================================<답변>===================================

질문하신 내용의 대부분은 이미 설명한 내용입니다.
본란을 잘 찾아 보시기 바랍니다.
특히 ICP든 CCP든 플라즈마 발생 방법에 대해서 공부를 하고자
한다면 이 또한 이미 설명 드린 내용에서 기초적인 이해를 얻을 수
있을 것 입니다.

한 가지 권하고 싶은 것은 ICP 공부 이전에 DC glow 방전에 대해서 먼저
이해하고 공부를 시작하기 바랍니다.

(+ 저희 플라즈마 응용 연구실의 강의록을 참조하기 바랍니다.)


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