번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48775
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 52796
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 60678
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 100
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 154
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 247
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 634
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1437
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 376
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 518
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 104
102 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1092
101 remote plasma 데미지 질문 [1] 1359
100 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 566
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 297
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 340
97 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 312
96 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 13573
95 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 386
94 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 266
93 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 3423
92 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 492
91 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 1584
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