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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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102 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 63 |
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101 |
remote plasma 데미지 질문
[1] | 345 |
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100 |
RF generator 관련 문의드립니다
[2] | 232 |
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99 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 156 |
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98 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
[1] | 160 |
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97 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 206 |
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96 |
Plasma Dechuck Process가 궁금합니다.
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95 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 259 |
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94 |
Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생
[1] | 181 |
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93 |
에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
[1] | 2127 |
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92 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 332 |
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91 |
Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의
[1] | 776 |
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90 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 380 |
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89 |
공정플라즈마
[1] | 342 |
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88 |
Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
[1] | 178 |
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87 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 302 |
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86 |
리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 407 |
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84 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 733 |
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83 |
수중방전에 대해 질문있습니다.
[1] | 205 |
