번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 48250
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 53813
92 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 124
91 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 191
90 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 165
89 공정플라즈마 [1] 175
88 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 137
87 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 169
86 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 281
85 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 232
84 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 601
83 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 185
82 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 221
81 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 366
80 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 309
79 Plasma Generator 관련해서요. [1] 425
78 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 256
77 RF 변화에 영향이 있는건가요? 232
76 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 614
75 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 241
74 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 302
73 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 1026

Boards


XE Login