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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59719
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124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 160
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 264
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [2] 1838
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 235
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 333
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 249
118 라디컬의 재결합 방지 [1] 227
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116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2216
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114 플라즈마 챔버 [2] 415
113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1133
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 318
111 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 439
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 392
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 568
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 4068
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1332
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1797
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 909

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