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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 56151
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 63566
114 플라즈마 챔버 [2] 144
113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 669
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 124
111 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 183
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 248
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 323
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 320
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1026
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1617
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 520
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 905
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 118
102 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1308
101 remote plasma 데미지 질문 [1] 1553
100 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 634
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 331
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 410
97 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 384
96 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 14280
95 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 429
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