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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
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122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [1] 502
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 135
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 172
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110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 335
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108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 408
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106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1728
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 752
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1316
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