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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4910
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16244
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83571
135 plasma striation 관련 문의 newfile 4
134 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 60
133 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 79
132 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 197
131 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 82
130 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 517
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 521
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 319
127 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 404
126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 661
125 plasma 형성 관계 [1] 599
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 394
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 799
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2421
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 472
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1034
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 460
118 라디컬의 재결합 방지 [1] 414
117 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 803
116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2845
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