번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55049
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 213
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 63
102 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 654
101 remote plasma 데미지 질문 [1] 1083
100 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 388
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 209
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 213
97 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 229
96 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 10969
95 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 305
94 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 205
93 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [2] 2423
92 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 383
91 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 1018
90 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 441
89 공정플라즈마 [1] 397
88 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 192
87 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 367
86 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 337
85 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 483

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