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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
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122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [1] 502
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 135
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 172
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 145
118 라디컬의 재결합 방지 [1] 155
117 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 205
116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 1415
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 177
114 플라즈마 챔버 [2] 339
113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1060
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 258
111 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 350
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 335
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 485
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 408
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1211
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1728
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 752
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1316
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 163
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