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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
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158 skin depth에 대한 이해 [1] 105
157 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 64
156 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 69
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 97
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 88
153 ICP에서 전자의 가속 [1] 126
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 150
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 140
150 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 79
149 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 317
148 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 348
147 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 526
146 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
145 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 672
144 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
143 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 673
142 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 428
141 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 612
140 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1162
139 ICP lower power 와 RF bias [1] 1429

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