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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68800
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92794
162 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 79
161 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 87
160 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 37
159 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 104
158 skin depth에 대한 이해 [1] 184
157 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 129
156 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 125
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 212
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 174
153 ICP에서 전자의 가속 [1] 175
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 197
151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 207
150 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
149 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 336
148 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 375
147 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 647
146 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 260
145 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 726
144 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 632
143 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 732

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