번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5818
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53122
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64498
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85112
139 ICP lower power 와 RF bias [1] 85
138 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 56
137 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 158
136 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 336
135 plasma striation 관련 문의 [1] file 220
134 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 240
133 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 357
132 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 457
131 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 124
130 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1245
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 759
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 388
127 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 498
126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 743
125 plasma 형성 관계 [1] 837
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 465
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1201
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2676
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 561
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1272

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