Plasma Source H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
2020.06.09 18:30
안녕하세요 플라즈마 소스개발을 하고 있는 김상규라고 합니다.
전자기장 시뮬레이션을 통해 ICP Source 를 개발 중에 있습니다만 이해가 되지 않는 부분이 있어 질문 드립니다.
조건 : 1000mm X 1000mm chamber , process gap 250mm , icp source , H-field 관측 , Source only (bias x)
현상 : 상부 Antenna 근처에서 측정(antenna로 부터 30mm) Map 이 center high 인데 substrate (substrate 표면으로 부터 5mm) 로 내려오 면 center 가 low 가 됨. (stage 에 절연층을 쌓아도 비슷함)
질문 : side, 4corner 가 low 로 되는 것은 챔버 벽면으로 electron 이 빠져나가면서 그럴수 있다고 생각 됩니다만
왜 Chamber 벽면에서 가장 먼 가장자리(substrate center position) 의 field 가 약해지는 것 인지 궁금합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76878 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20274 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68752 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92704 |
122 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16042 |
121 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15921 |
120 | In-flight plasma process | 15506 |
119 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14484 |
118 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
117 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11471 |
116 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10377 |
115 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
114 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9674 |
113 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
112 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8755 |
111 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8621 |
110 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
109 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8139 |
108 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7660 |
107 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6688 |
106 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
105 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6369 |
104 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6046 |
103 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5094 |
ICP H field 측정 관련 Hopwood 1993 (JVST A11, 152)를 참고해 보세요. H field는 1/.r 로 감소하므로 거리가 멀어지면 줄고, 유도기전력
E-theta 크기도 감소하게 됩니다. 대략 skin depth 내에서 에너지 전달하므로 안테나 근방에서 대부분의 플라즈마가 형성되고, 플라즈마는 확산하여 생성부 근방 (안테나 근방)에서는 센터 peak 형태, 아래로 내려오면서 점차 peak는 완만해 질 수 있습니다. 가열 공간에서 확산이 심한 조건이면 하부에서 플라즈마 분포는 중심부가 줄어드는 쌍봉 형태의 모양을 가질 수 있으므로 시뮬레이션은 크게 문제가 될 것 같지 않습니다.
따라서 전기장 분포와 함께 플라즈마 수송 특성을 안테나 면적/전력/운전압력/전극위치등의 장비 윤전 조건과 구조 조건에 대해 추가 해석이 필요해 보입니다. 아울러 ICP 기전과 관련해서 표준과학연구원(KRISS)에 계시는 이효창박사님께 문의드려 보시면 좋은 답변 구하실 수 있겠습니다.