Others PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다.
2016.04.29 20:27
안녕하십니까?
현재 부산대학교에 재학중인 학생입니다.
이번 과제로 플라즈마 소각기술에 관해 발표를 하게 되어 조사하던 중 궁금한 점이 있어 질문드리게 되었습니다.
1. 플라즈마 용융 유리화 기술이라는 것을 알게 되었습니다.
혹시 플라즈마 토치와 아크와 같은 종류 중 하나인지
아니면 고온플라즈마, 저온플라즈마와 같이 플라즈마 기술 중 하나인건지 알고 싶어 질문 드리게 되었습니다.
2. 고온플라즈마는 핵융합에 응용되고 저온 플라즈마는 산업용으로 이용된다고 알고 있습니다.
저온플라즈마의 종류 안에 열플라즈마가 있는 것인지 궁금합니다.
3. 저온플라즈마와 열플라즈마의 차이점이 무엇인지 알고 싶습니다.
답변 부탁드립니다.^^
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [273] | 76809 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20240 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57186 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68736 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92569 |
| 81 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1901 |
| 80 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
| 79 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1814 |
| 78 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1747 |
| 77 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1672 |
| 76 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1667 |
| 75 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1615 |
| 74 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1610 |
| 73 | plasma 형성 관계 [1] | 1535 |
| 72 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1501 |
| 71 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1461 |
| 70 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1453 |
| 69 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1451 |
| 68 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1404 |
| 67 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
| 66 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1362 |
| 65 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1339 |
| 64 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1331 |
| 63 | Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] | 1309 |
| 62 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1274 |
[응용 플라즈마 정의]
일반적으로 우리가 사용하고 있는 용어에 혼선이 있어 왔습니다. 우주에 존재하는 플라즈마 상태를 연구할 때는 우주 플라즈마, 핵융합 연구에 쓰이는 핵융합 플라즈마, 산업적으로 활용되는 경우 산업 플라즈마 등으로 구분이 되겠습니다.
운전 압력을 기준으로 이야기 할 때는 저압 플라즈마와 상압 플라즈마 혹은 대기압 플라즈마가 되겠습니다.
또한 온도의 관점으로 보면 고온 플라즈마와 저온 플라즈마가 되겠고 플라즈마에서 전달된 열 에너지를 쓰는 경우, 열 플라즈마라 하겠습니다.
각각의 정의는 사용 용도에 따라서, 운전 압력 조건이 정해지며, 방전 방법이 정해지게 됩니다.
대부분 고전압에 저전류의 방전 형태, 코로나 및 스파크, 스트리머, DBD, 방전 등에는 고전압, 저전류의 방전 특성의 전원으로 플라즈마를 만들게 되며, 이떄 만들어진 플라즈마는 대부분 저온 플라즈마 형태가 됩니다.
반면 플라즈마의 온도를 높이기 위해서는 충돌 횟수가 줄어야 하므로, 저압에서 고밀도 플라즈마를 만들기 위해서 가열 등의 특별한 방법의 글로우 방전 특성을 갖도록 플라즈마 형성 시킵니다. 글로우 방전 역시 저온 조건으로 플라즈마를 만들 수 있으면 글로우 방전이 유지되기 위해서는 일단 breakdown 의 전압이 인가되는 개시 전압이 필요하며 유지에 필요한 전력이 공급되어야 합니다. 유지 전압은 개시 전압 보다는 높지 않은 상태로 방전이 지속되는 경우 글로우 방전, 글로우 플라즈마라고도 합니다. 이떄 만들어진 플라즈마는 저압에서 잘 유지되며, 비교적 낮은 밀도의 낮은 온도의 저온 플라즈마를 형성하게 됩니다. 다만, 낮다의 기준은 상대적임을 염두에 두어야 합니다. 현재 반도체 공정 등에서 사용하고 있는 플라즈마도 저온 플라즈마의 하나입니다만, 결코 그 온도를 낮다고 생각하지 않습니다. 오히려 더 낮은 온도의 플라즈마를 만들고자 노력도 하고 있습니다만, 높은 밀도는 유지해야 하는 어려운 숙제가 되고 있습니다.
방전이 충분이 커져서 방전 전류가 증가하게 되면 열전자가 늘어나게 되면서 방전은 아크 방전이 되고, 아크 방전의 특징은 저전압에 고전류의 방전 특성을 갖게 됩니다. 열플라즈마는 이용하는 가스 입자의 온도를 높여서 사용하려는 목적이므로, 이들 입자의 온도가 높아지도록 충분하게 플라즈마의 하전 입자들이 충돌을 해 주어야 하니, 당연히 아크 플라즈마가 이용될 것입니다. 따라서 아크 플라즈마는 열플라즈마의 소스의 이름이 되겠습니다.
부산대학교에서는 플라즈마 관련 연구를 활발히 진행하고 계시는 교수님이 여러분 계시니, 아마도 플라즈마를 소개하는 강의를 접할 기회가 많을 것 입니다. 참고가 되었으면 합니다.