ATM Plasma Silent Discharge
2004.06.19 16:11
Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을 동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.
Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli, J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76861 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20264 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92640 |
| 22 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 516 |
| 21 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 513 |
| 20 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 485 |
| 19 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
| 18 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 450 |
| 17 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 435 |
| 16 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 364 |
| 15 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 327 |
| 14 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 251 |
| 13 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 186 |
| 12 |
CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여
[2] | 181 |
| 11 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 180 |
| 10 | skin depth에 대한 이해 [1] | 167 |
| 9 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 154 |
| 8 |
CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다.
[1] | 147 |
| 7 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 118 |
| 6 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 114 |
| 5 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 91 |
| 4 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 87 |
| 3 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 53 |