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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 118698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 201137
174 Dual frequency CCP에 대해 질문 드립니다. [1] 1413
173 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 1615
172 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 1663
171 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 2161
170 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 2259
169 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 2288
168 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 2353
167 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 2408
166 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 2538
165 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 2667
164 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 2669
163 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS] [2] 2686
162 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 2702
161 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 2713
160 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 2720
159 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 2827
158 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 2894
157 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 2896
156 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 3019
155 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 3023

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