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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59357
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124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 61
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 104
122 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 167
121 anode sheath 질문드립니다. [1] 193
120 라디컬의 재결합 방지 [1] 195
119 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 196
118 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 211
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116 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 276
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114 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 287
113 핵융합 질문 [1] 327
112 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 336
111 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 337
110 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 349
109 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 360
108 플라즈마 챔버 [2] 381
107 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 398
106 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 401
105 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 404

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