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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Dual frequency CCP에 대해 질문 드립니다.
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정]
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field]
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder]
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상]
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ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응]
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Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
[1] | 2667 |
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
[2] | 2686 |
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챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction]
[1] | 2702 |
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전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source]
[1] | 2713 |
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Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리]
[1] | 2720 |
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
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158 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD]
[1] | 2894 |
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157 |
RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]
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156 |
PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전]
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 3023 |