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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68765
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162 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 34
161 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 66
160 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 81
159 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 95
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157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124
156 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 126
155 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 158
154 ICP에서 전자의 가속 [1] 173
153 skin depth에 대한 이해 [1] 180
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151 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 204
150 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 206
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 258
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147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 372
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