Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:911

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] 76746
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20216
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92304
79 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1944
78 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1957
77 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2008
76 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2234
75 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270
74 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2316
73 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2316
72 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2318
71 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2385
70 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2479
69 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
68 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2687
67 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2785
66 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3325
65 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3411
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3538
63 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3710
62 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4013
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4488
60 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4949

Boards


XE Login