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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68907
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92959
65 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3467
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3611
63 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3873
62 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4094
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4618
60 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5340
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6113
58 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6376
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6413
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6724
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7679
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8162
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8587
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8640
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8779
50 대기압 플라즈마에 대해서 9654
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9688
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9846
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10403
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11693

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