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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63010
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111 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 515
110 plasma 형성 관계 [1] 515
109 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 555
108 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 593
107 플라즈마 챔버 [2] 605
106 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 614
105 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 616
104 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 633
103 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 660
102 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 679
101 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 692
100 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 697
99 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 703
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 720
97 Plasma Generator 관련해서요. [1] 739
96 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 745
95 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 757
94 공정플라즈마 [1] 758
93 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 779
92 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 800

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