번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3625
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15309
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50564
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62973
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 81994
91 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 877
90 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 950
89 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 956
88 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 962
87 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1024
86 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1039
85 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1076
84 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1137
83 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1141
82 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1143
81 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1147
80 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1149
79 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1149
78 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1178
77 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1275
76 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1304
75 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1330
74 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1350
73 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1386
72 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 1487

Boards


XE Login