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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 956 |
88 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 962 |
87 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1024 |
86 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 1039 |
85 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 1076 |
84 |
안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1137 |
83 |
RF generator 관련 문의드립니다
[3] | 1141 |
82 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 1143 |
81 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3] | 1147 |
80 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1149 |
79 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 1149 |
78 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1178 |
77 |
수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1275 |
76 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1304 |
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ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1330 |
74 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1350 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1386 |
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 1487 |