안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
122 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 813
121 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 818
120 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 842
119 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
118 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
117 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
116 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 929
115 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 979
114 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 990
113 anode sheath 질문드립니다. [1] 1000
112 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1017
111 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1050
110 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1072
109 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1095
108 공정플라즈마 [1] 1157
107 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1171
106 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1186
105 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1197
104 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1207
103 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1214

Boards


XE Login