Remote Plasma PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
2023.03.02 15:45
기초적인 질문인데요
PECVD 장비에서 Cleaning을 할때 보통 Remote plasma NF3 + Ar Gas를 사용하는데요
Ar Gas의 정확한 역할을 알고 싶습니다.
Purge나 Carrier 용도라면 N2나 O2도 사용가능한데 굳이 Ar을 사용하는 다른 목적이 있는건지 궁금합니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76872 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
| 62 | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 4054 |
| 61 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4526 |
| 60 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1]  | 5081 |
| 59 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 6042 |
| 58 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6369 |
| 57 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
| 56 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6683 |
| 55 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7658 |
| 54 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8137 |
| 53 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
| 52 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] | 8621 |
| 51 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8753 |
| 50 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
| 49 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9673 |
| 48 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
| 47 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10375 |
| 46 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11460 |
| 45 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
| 44 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14481 |
| 43 | In-flight plasma process | 15506 |