안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76843
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20252
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68744
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92597
81 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1901
80 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1921
79 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1953
78 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1965
77 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2020
76 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2251
75 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2284
74 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2331
73 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2333
72 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2334
71 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2396
70 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2484
69 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2653
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2691
67 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2838
66 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3326
65 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3428
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3556
63 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3739
62 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4043

Boards


XE Login