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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]
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ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias]
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Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어]
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micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장]
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown]
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RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭]
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해]
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CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching]
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반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]
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Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해]
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skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
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CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고]
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CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정]
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대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해]
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ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential]
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상]
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