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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2296
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61086
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78358
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 31
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 84
127 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 200
126 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 202
125 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 255
124 라디컬의 재결합 방지 [1] 290
123 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 292
122 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 307
121 plasma 형성 관계 [1] 307
120 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 319
119 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 326
118 anode sheath 질문드립니다. [1] 328
117 핵융합 질문 [1] 341
116 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 350
115 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 388
114 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 395
113 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 396
112 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 425
111 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 425
110 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 447
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