Plasma Source 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다

2024.02.15 12:14

별의목소리 조회 수:172

안녕하세요..
파장에 따른 동축케이블 길이 관련 궁금증이 있어서 문의드립니다.
예를들어 13.56Mhz RF의 파장 길이는 대략 22m이고,
동축케이블의 감쇄율등을 감안하면 대략 14.?m 정도 나오는걸로 알고 있습니다.
그래서 케이블 길이를 14.?m 또는 반파장(람다/2)로 하라고 하는데요..
여기서 왜 이렇게 해야하는지 이해가 잘 안됩니다.
특히 1/4파장은 절대로 안된다고 하는데요..
위 내용을 이해하기 쉽게 좀 알려주실수 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76806
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20240
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92561
160 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] update 4
159 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 70
158 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 84
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 100
156 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 102
155 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 138
154 ICP에서 전자의 가속 [1] 149
153 skin depth에 대한 이해 [1] 155
152 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 157
151 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 170
» 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 172
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 251
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 323
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 361
146 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 434
145 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 443
144 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 469
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 476
142 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 505
141 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 514
쓰기
태그

Boards

XE Login