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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76979
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111247
153 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 766
152 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 777
151 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 786
150 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 817
149 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 852
148 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 855
147 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 876
146 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 879
145 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 896
144 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 933
143 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 939
142 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 952
141 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 960
140 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 974
139 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 1021
138 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 1040
137 ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델] [1] 1052
136 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 1080
135 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 1080
134 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 1109
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