Plasma Source ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.

2020.12.27 15:04

고려대-김지수 조회 수:854

안녕하세요 고려대학교 가속기과학과 김지수 학생입니다.

 

ECR ion source를 연구중인데 ECR chamber에 GAS를 주입하고 RF를 인가중 플라즈마가 켜지게 되면

 

RF Reflect가 엄청 많아집니다. RF 주파수를 위아래로 조절해 보아도 Rflect가 기본 base line처럼 깔려서 낮아지질 않네요

 

Plasma상태에 따라서 RF reflect가 많이 달라질까요? 달라진다면 어떤 plasma 상태를 만들어야 될까요?

이 게시물을
Profile
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78038
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20848
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93633
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 444
146 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 455
145 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 484
144 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 508
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 523
142 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 534
141 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 545
140 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 549
139 핵융합 질문 [1] 592
138 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 600
137 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 626
136 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 631
135 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 651
134 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 652
133 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 717
132 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 750
131 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 789
130 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 804
129 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 812
128 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 824
쓰기
태그

Boards

XE Login