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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
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N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
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공정플라즈마
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
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plasma 형성 관계
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1043 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1050 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1115 |
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DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1248 |
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
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수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1337 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
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RF generator 관련 문의드립니다
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
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