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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63771
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95 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 807
94 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 810
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90 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 971
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81 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1218
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