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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정]
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N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술]
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
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새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터]
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
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라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전]
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DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"]
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리]
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Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리]
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플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law]
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Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet]
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ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정]
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반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술]
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주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
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산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD]
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