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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
[1] | 1420 |
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산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD]
[1] | 1450 |
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anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
[1] | 1466 |
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공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]
[1] | 1470 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
[2] | 1540 |
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
[1] | 1563 |
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수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
[1] | 1602 |
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RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 1603 |
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응]
[1]  | 1630 |
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DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법]
[3] | 1641 |
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Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
[1] | 1648 |
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플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건]
[2] | 1707 |
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RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning]
[1] | 1768 |
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전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation]
[1] | 1812 |
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Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas]
[1] | 1876 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적]
[1] | 1882 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도]
[1] | 1910 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 1918 |
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PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable]
[1] | 1920 |
