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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76707
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113 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1496
112 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1518
111 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1540
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109 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1607
108 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1656
107 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1659
106 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1683
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104 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1701
103 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1783
102 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1813
101 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1932
100 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1983
99 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1991
98 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술] [1] 2011
97 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 2014
96 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 2037
95 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 2054
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