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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[160]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 1481 |
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ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1494 |
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79 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 1498 |
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Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1501 |
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 1509 |
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76 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1527 |
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 1608 |
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1684 |
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73 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 1731 |
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CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1]  | 1754 |
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가입인사드립니다.
[1] | 1817 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 1872 |
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RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1951 |
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2169 |
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67 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2213 |
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플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2481 |
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 2674 |
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 2765 |
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63 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2790 |
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62 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 2897 |
