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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
[1] | 1496 |
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CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
[1] | 1518 |
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111 |
공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식]
[1] | 1540 |
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anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
[1] | 1570 |
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power]
[2] | 1607 |
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계]
[1] | 1656 |
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107 |
수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의]
[1] | 1659 |
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106 |
RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]
[1] | 1683 |
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105 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응]
[1] | 1691 |
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104 |
DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법]
[3] | 1701 |
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103 |
플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건]
[2] | 1783 |
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102 |
Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해]
[1] | 1813 |
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RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning]
[1] | 1932 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적]
[1] | 1983 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 1991 |
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술]
[1] | 2011 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도]
[1] | 2014 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 2037 |
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Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas]
[1] | 2054 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield]
[1] | 2079 |