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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
81 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1481
80 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1494
79 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1498
78 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1501
77 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1509
76 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1527
75 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1608
74 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1684
73 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1731
72 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1754
71 가입인사드립니다. [1] 1817
70 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1872
69 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1951
68 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2169
67 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2213
66 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2481
65 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2674
64 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2765
63 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2790
62 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2897

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