ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.

2014.06.20 14:08

김병인 조회 수:2529

안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75019
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18860
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56340
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66843
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88303
82 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1547
81 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1551
80 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1573
79 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1573
78 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1579
77 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1612
76 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1641
75 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1737
74 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1765
73 가입인사드립니다. [1] 1845
72 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1853
71 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1964
70 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2031
69 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 2219
68 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2236
67 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2326
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2529
65 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2846
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2941
63 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2990
쓰기
태그

Boards

XE Login