ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
2014.06.20 14:08
안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.
최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.
플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.
특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.
그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.
플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] | 2361 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 12952 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49619 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61116 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 79627 |
69 | RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] | 1659 |
68 | 가입인사드립니다. [1] | 1765 |
67 | CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] | 1822 |
66 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 1864 |
65 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 1896 |
64 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [2] | 2084 |
» | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2260 |
62 | RPSC 관련 질문입니다. [2] | 2437 |
61 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 2459 |
60 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 2686 |
59 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 4337 |
58 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] ![]() | 4451 |
57 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 5856 |
56 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6146 |
55 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6289 |
54 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7154 |
53 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 7706 |
52 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 7850 |
51 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 8179 |
50 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8242 |
대기압 소스 방식에 대해서 잘 리뷰가 되어 있는 교재로는
J. Reece Roth 의 Industrial Plasma Engineering (Vol 1 and 2), Institute of Physic Publishing 을 추천합니다.