ICP 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
2020.08.21 15:03
저는 광학박막 분야에서 sputter 장비를 이용하여 간섭필터를 코팅하고 있습니다.
sputter에 ICP를 같이 사용하여 기판에 증착된 Si와 반응가스를 결합시키는 용도로 사용하고 있습니다.
ICP코일 앞에 위치한 Quartz 표면에서 식각된 것 같은 모양새를 보여 원인분석에 있습니다.
질문1. ICP 쪽에 Self bias로 인해 Quartz가 식각되는 현상이 발생될 수 있는지 궁금합니다
질문2. Ar과 함께 들어가는 반응가스로 O2를 사용했을 때와 H2를 사용했을 때 ICP 쪽과 기판 쪽에서 어떤 현상들이 생기는지 궁금합니다
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57195 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92611 |
82 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
81 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1902 |
80 | RF generator 관련 문의드립니다 [3] | 1924 |
79 | Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] | 1957 |
78 | 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] | 1970 |
77 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 2023 |
76 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2254 |
75 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 2285 |
74 | 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] | 2332 |
73 | RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] | 2336 |
72 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2352 |
71 | RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] | 2398 |
» | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2489 |
69 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2656 |
68 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2692 |
67 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2850 |
66 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3329 |
65 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3432 |
64 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 3556 |
63 | CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] | 3745 |