번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101834
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24448
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61100
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73137
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105300
73 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma] [1] 2782
72 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 2898
71 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2920
70 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2993
69 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3029
68 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 3254
67 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3565
66 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 4011
65 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전] [3] 4166
64 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4318
63 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 4453
62 RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage] [2] 4887
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 5611
60 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문 드립니다! [플라즈마 발생 방식과 성질] [1] 6565
59 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해] [2] 6569
58 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 6883
57 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7061
56 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 7735
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 7920
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8370

Boards


XE Login