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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이]
[1] | 8831 |
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N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가]
[1]  | 8946 |
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수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상]
[1] | 9154 |
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대기압 플라즈마에 대해서
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저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
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수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징]
[1] | 9993 |
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Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [플라즈마의 유지와 쉬스]
[1] | 10766 |
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Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [ESC와 matcher]
[1] | 14070 |
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냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power]
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remote plasma 데미지 질문 [DC glow discharge와 Breakdown]
[1] | 14946 |
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In-flight plasma process [Remote Plasma와 Plasma Torch]
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42 |
ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]
| 16026 |
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41 |
플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source]
[1] | 16375 |
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CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅]
| 16651 |
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좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [전력 인가와 플라즈마 밀도]
[2] | 17053 |
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RF 변화에 영향이 있는건가요?
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유전체 플라즈마
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capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant]
| 17964 |
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Plasma Dechuck Process가 궁금합니다.
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DBD plasma [Excitation과 Power Current]
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