RF Power 값을 올리던지, 아니면 압력이나 주입되는 가스의 양을 조정하셔야 합니다. Tuner로 조정하는 것은 의미가 없습니다. 제생각으로는 기판의 위치를 높히는 것이 좋을 것 같습니다.

마이크로 웨이브 플라즈마에서 플라즈마가 만들어 지면 인가 전력이 매우 효율적으로 플라즈마를 만들게 됩니다. 이 경우 대부분의 인가 전력(웨이브)는 대부분의 에너지를 잃게 되므로, 자연히 웨이브 진입 쪽에서의 플라즈마 밀도가 높아지게 됩니다. 이는 웨이비 진입구에 있는 부도체(일반적으로 quartz 사용)하는데 이 부도체의 온도가 같이 올라가게 되고 이는 웨이브 통과를 방해하곤 합니다. 이때 반사파의 크기가 커지는 현상이 발생하게 됩니다. 따라서 웨이브 가이드 주변의 냉각은 중요합니다. 또한 플라즈마를 기판 쪽으로 내리기 위해서는 운전 압력을 낮추거나, 위의 추천대로 처리 시편의 위치를 윗쪽, 즉 플라즈마 생성 쪽으로 옮기는 방법이 보다 효과적입니다. 참고가 되었으면 합니다.