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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72262
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32 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지] [1] 19131
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30 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19545
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28 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19877
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19 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21894
18 ccp-icp 21896
17 플라즈마의 발생과 ICP 22307
16 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23291
15 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating] 23293
14 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23386
13 CCP/ICP , E/H mode 23483

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