|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[336]
| 107924 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 26347 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 63520 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 75177 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 108662 |
|
173 |
RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종]
| 97970 |
|
172 |
Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
| 80584 |
|
171 |
Silent Discharge
| 64719 |
|
170 |
대기압 플라즈마
| 40984 |
|
169 |
ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 32754 |
|
168 |
플라즈마를 이용한 오존 발생장치 [Ozone과 Plasma]
| 29374 |
|
167 |
DBD란
| 28184 |
|
166 |
CCP/ICP , E/H mode
| 27858 |
|
165 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [반사파 형성과 플라즈마 운전 조건]
[2] | 25348 |
|
164 |
[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias]
[3] | 24975 |
|
163 |
ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [ICP의 skin depth와 공정 균일도]
[1] | 24941 |
|
162 |
플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
| 24709 |
|
161 |
광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
| 23664 |
|
160 |
CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
| 23444 |
|
159 |
입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating]
| 23405 |
|
158 |
No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
| 23391 |
|
157 |
플라즈마의 발생과 ICP
| 22388 |
|
156 |
ccp-icp
| 22072 |
|
155 |
glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
| 21963 |
|
154 |
F/S (Faraday Shield)
 | 21926 |
