Others 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
2017.03.29 15:16
안녕하세요?
호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.
스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.
"플라즈마 구 예시"(링크)
플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.
그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의 이 전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.
그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?
손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76868 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92693 |
122 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16041 |
121 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15920 |
120 | In-flight plasma process | 15506 |
119 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14479 |
118 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
117 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11457 |
116 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10374 |
115 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9844 |
114 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9673 |
113 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9642 |
112 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8752 |
111 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8621 |
110 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
109 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8136 |
108 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7658 |
107 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6682 |
106 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
105 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6369 |
104 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6040 |
103 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 5079 |