30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76747
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92305
99 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4489
98 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4013
97 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3710
96 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3538
95 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3411
94 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3325
93 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2785
92 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2687
91 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
90 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2479
89 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2385
88 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2318
87 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2316
86 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2316
85 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270
84 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2234
83 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2008
82 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1957
81 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1944
80 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1915

Boards


XE Login