CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7652

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76749
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92307
99 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4489
98 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4013
97 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3710
96 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3539
95 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3411
94 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3325
93 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2786
92 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2687
91 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
90 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2479
89 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2385
88 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2318
87 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2318
86 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2316
85 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270
84 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2236
83 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2008
82 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1957
81 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1944
80 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1915
쓰기
태그

Boards

XE Login