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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73542
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153 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [열용량과 방전 전력에 따른 냉각 장치] [1] 21752
152 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 21674
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149 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [Electric field와 breakdown] [1] 20511
148 DBD 플라즈마와 플라즈마 impedance [DBD plasma, Matching] 20379
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146 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19920
145 대기압 상태의 플라즈마 측정 19842
144 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19590
143 기중방전에서 궁금한것이 19293
142 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지] [1] 19162
141 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18807
140 DBD plasma [Excitation과 Power Current] 18215
139 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 18067
138 capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] 17976
137 유전체 플라즈마 17734
136 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17605
135 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [전력 인가와 플라즈마 밀도] [2] 17067
134 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16662

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