Plasma Source 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성
2023.03.07 09:48
기초적인 질문이지만 답변 해주시면 정말 감사하겠습니다.
1. 챔버 시즈닝을 SiO2로 했을때, 플라즈마를 인가하면 플라즈마의 영향으로 챔버시즈닝이 각 O2-와 Si4+로 분해가 일어날수있나요?
일어난다면 흔한일일까요 ??
2. 1번과 같은 관점에서 플라즈마 gas를 각각 N2 , H2 로 인가한다면, 제가 생각하기에는 수소원자가 질량이 낮으니 O를 떼어 낼 만한 힘이 없어서 N2 는 1과같은 일이 발생할수 있을거 같고, H2는 힘들것 같은데 어떤것이 맞는지 궁금합니다
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76813 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20241 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57186 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68736 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92571 |
141 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21515 |
140 | ccp-icp | 21510 |
139 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21319 |
138 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
137 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20312 |
136 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20208 |
135 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19781 |
134 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19766 |
133 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19731 |
132 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19387 |
131 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19163 |
130 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18877 |
129 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18547 |
128 | DBD plasma | 18091 |
127 | capacitively/inductively coupled plasma | 17810 |
126 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 17681 |
125 | 유전체 플라즈마 | 17557 |
124 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17510 |
123 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16664 |
122 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16490 |
플라즈마의 생성 현상에 대해서 공부해 보시기 바랍니다. 먼저 전자와 원자 및 분자와의 충돌과정으로, 이온화 및 해리 충돌 과정에 대해서 공부하시면 좋을 것 같고, 이 반응이 연속되어 플라즈마가 발생하고 형성되어 유지되게 됩니다. 따라서 플라즈마 방전, 파센 법치, 충돌이온화반응 등의 주제로 검색해 보시기 바랍니다. 게시판에 보시면 잘 설명이 되어 있고, 위의 질문에 대한 답을 찾을 수 있으실 것 같습니다.