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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
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80 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2892
79 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2782
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68 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1682
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65 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1501
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