Others RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
2017.11.09 21:13
안녕하세요,
재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.
제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,
1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.
그리고,
2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77041 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20362 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57278 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68825 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92824 |
| 82 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1910 |
| 81 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
| 80 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1825 |
| 79 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1774 |
| 78 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1682 |
| 77 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1675 |
| 76 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1634 |
| 75 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1634 |
| 74 | plasma 형성 관계 [1] | 1562 |
| 73 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1524 |
| 72 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1494 |
| 71 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1489 |
| 70 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1486 |
| 69 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1409 |
| 68 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1398 |
| 67 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1393 |
| 66 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1387 |
| 65 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1338 |
| 64 | Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] | 1338 |
| 63 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1278 |