ICP Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여

2018.12.21 07:56

정용진 조회 수:770

안녕하세요, dusty 플라즈마를 활용해서 나노소재를 만드는 연구를 하는 한 학생입니다.


플라즈마 electron density 를 증가하고자 CCP 에서 ICP 로 바꿔서 실험을 진행하고 있는데요,


Ar gas 만 흘럿을때는 매우 아름다운 ICP 효과를 얻을 수 있는데,

O2 gas 를 넣는 순간 ICP 효과가 사라집니다.


튜브 사이즈는 직경 2인치이고, power 는 200 W 정도 인가하였는데 

매칭박스의 매칭이 잘 되지는 않습니다. 


주로 CCP 만 사용하다가 ICP 를 사용하게 되어 매칭박스에 관해 지식이 짧은데,

혹시 ICP 를 사용할때는 이 모드에 맞게 매칭박스를 바꾸어야 하는지요?


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1554
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2416
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59725
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75748
44 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 981
43 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 971
42 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 965
41 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 930
40 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 914
39 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 877
38 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 819
37 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 786
» Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 770
35 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 708
34 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 702
33 공정플라즈마 [1] 667
32 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 664
31 Plasma Generator 관련해서요. [1] 656
30 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 646
29 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 613
28 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 591
27 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 591
26 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 578
25 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 571

Boards


XE Login