번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4929
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63767
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83576
35 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 719
34 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 715
33 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 691
32 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 674
31 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 661
30 플라즈마 챔버 [2] 652
29 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 640
28 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 631
27 plasma 형성 관계 [1] 603
26 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 591
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 573
24 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 532
23 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 525
22 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 522
21 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 520
20 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
19 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 472
18 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 464
17 anode sheath 질문드립니다. [1] 460
16 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 450

Boards


XE Login