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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[53]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 524 |
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
[1] | 493 |
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Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 439 |
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의
[1] | 405 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 405 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 401 |
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조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문
[1] | 398 |
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17 |
플라즈마 챔버
[2] | 381 |
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16 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 360 |
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15 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 349 |
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14 |
Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생
[1] | 337 |
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13 |
Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
| 336 |
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12 |
핵융합 질문
[1] | 327 |
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11 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 287 |
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10 |
Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
[1] | 283 |
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9 |
수중방전에 대해 질문있습니다.
[1] | 276 |
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8 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 255 |
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7 |
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 211 |
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6 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 196 |
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5 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 195 |
