번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [53] 1149
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 865
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49367
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59358
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73875
24 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 524
23 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 493
22 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 439
21 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 405
20 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 405
19 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 401
18 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 398
17 플라즈마 챔버 [2] 381
16 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 360
15 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 349
14 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 337
13 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 336
12 핵융합 질문 [1] 327
11 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 287
10 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 283
9 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 276
8 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 255
7 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 211
6 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 196
5 라디컬의 재결합 방지 [1] 195

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