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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61101
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79312
29 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 630
28 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 620
27 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 567
26 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 529
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 528
24 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 527
23 플라즈마 챔버 [2] 505
22 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 503
21 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 459
20 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 455
19 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 427
18 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 425
17 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 399
16 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 395
15 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 388
14 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 350
13 핵융합 질문 [1] 341
12 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 334
11 anode sheath 질문드립니다. [1] 330
10 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 323

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