안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [61] 1504
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2153
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75580
24 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 531
23 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 512
22 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 492
21 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 476
20 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 439
19 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 420
18 플라즈마 챔버 [2] 413
17 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 402
16 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 392
15 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 376
14 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 364
13 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 341
12 핵융합 질문 [1] 331
11 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 328
10 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 316
9 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 291
8 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 281
7 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 255
6 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 247
5 anode sheath 질문드립니다. [1] 245

Boards


XE Login