회원 가입했어요

 유용한 사이트 운영 감사 드립니다


 RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가

수출하고자 하는데요.

  이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다


  CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?


 -챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?

 - RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요? 

- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요? 

-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요?   채용시 장점은 ?


evision21 드림

trade consultanta  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
62 플라즈마 챔버 [2] 1257
61 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1226
60 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1215
59 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1207
58 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1197
57 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1186
56 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1171
55 공정플라즈마 [1] 1157
54 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1095
53 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1072
» 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1050
51 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1017
50 anode sheath 질문드립니다. [1] 1000
49 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 990
48 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 979
47 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 929
46 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
45 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
44 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
43 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 842

Boards


XE Login