안녕하세요 부산대학교 학사과정을 진행중인 서재현입니다.

 

열심히 관련 사항들을 찾아보고 이론적 이유를 알고자 하였으나 제가 전자전공이 아닌 기계전공이라 정보를 찾는데 한계가 있어 질문드립니다!

 

현재 RF Ion source unit 을 이용해 플라즈마를 발생시켜 이용하는 장비를 사용하고 있습니다.

   제가 사용하는 장비의 AO flux는

1. rf에서 발생한 plasma를 재료에 노출

2. 노출에 따른 재료의 질량손실 발생

3. 질량손질을 이용한 ao flux 계산

의 방법을 사용해 측정한걸로 알고 있습니다.        이때의 조건은 압력 : 10^-6 torr,    o2 gas : 9.9sccm,     임피던스 130w 입니다.

그리고 그 결과 재료에서 ao flux 는 6.13 * 10^15 atom/cm^2s 측정되었다고 설명되어 있습니다.

 

제가 궁금한 점은 진공수준에 따른 ao flux의 변화를 그래프와 같은 수식으로 표현할 수 있는 방법이 존재하는가 입니다.

 

게시판의 지식을 통해 제가 이해한 것으로는, 만약 다른조건은 동일하지만 압력만 10^-2 torr 로 조건을 변화시킨다면 ao flux는 진공수준이 낮아졌기에 감소하게 될 것입니다. 10^-6 torr 에서는 ao flux는 ao flux 는 6.13 * 10^15 atom/cm^2s 였습니다. 그렇다면 10^-2 torr에서 ao flux는 이보다 감소한 값을 가지게 될 것입니다.

 

제가 ao flux가 감소할 거라 생각한 이유는

1. 진공수준이 감소함에 따라 plasma가 이동하는데 방해를 많이 받음

2. 이러한 방해로 인해 plasma source로 부터 발생한 ao 가 재료에 영향을 주는 정도가 감소

3. 결과적으로 ao flux가 적게 측정되는 결과 입니다.

 

그래서 제가 질문할 것은 다음과 같습니다.

 : 진공수준과 ao flux를 수식적 혹은 그래프로 연구된 자료가 있는가? 와 없다면 실험적으로 측정하는 방법밖에 없는가 입니다!

결과적으로 다른 조건이 동일하고 압력 수준만 10^-6 torr에서 10^-2 torr로 바뀌면 ao 의 변화정도 입니다.

 

감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
42 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 818
41 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 814
40 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 810
39 라디컬의 재결합 방지 [1] 806
38 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 803
37 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 788
36 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 763
35 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 761
34 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 721
33 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 711
32 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 709
31 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 626
30 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 625
» 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 617
28 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 612
27 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 599
26 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 584
25 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
24 핵융합 질문 [1] 569
23 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518

Boards


XE Login