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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
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plasma striation 관련 문의
[1] | 523 |
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다.
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Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
[1] | 455 |
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ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응]
[1] | 444 |
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상]
[1] | 375 |
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
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ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential]
[1] | 346 |
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대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해]
[1] | 289 |
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CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정]
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CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고]
[1] | 270 |
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skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
[1] | 269 |
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ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해]
[1] | 226 |
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Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해]
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반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
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Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]
[1] | 169 |
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CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching]
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