================================<질문>=======================================
안녕하세요.. 플라즈마에 대해서 궁금한 점이 있어서 이렇게 글을 올립

니다..

dc glow 방전에서 방전상태가 계속 유지되기 위해서는 전자가 계속적

으로 에너지를 얻어서, ion을 생성해야 하는 것으로 생각이 됩니다..

음극과 양극판이 있다면 그 중간영역(plasma volume)에서는 전기장

이 거의 존재하지 않는 것으로 알고 있습니다..그렇다면 원자를 이온하

시키기위한 전자의 에너지는 어디에서 흡수를 할 수 있나요? 이온과 전

자의 재결합 과정에서 발생하는 빛을 이용하나요?

그리고 rf 방전상태에서는 전자가 어디서 에너지를 얻게 되는 지 궁금합

니다..

답변을 부탁드리겠습니다.. 그럼 수고하십시요..


================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다. 본 란에 게재된 플라즈마 방전 혹은 발생 (장치)에 대한 내용을 참고하기
바랍니다.
플라즈마가 형성되어 유지되기 위해서는 전자의 역할이 매우 중요합니다.
전자는 이온에 비해서 쉽게 에너지를 얻어 이온화 과정으로 부터
전자-이온의 쌍을 만들게 됩니다. 재결합 과정 등으로 플라즈마가
손실되는 양과 균형을 이루면서 플라즈마는 형성되어 유지되게 됩니다.
질문은 이때 전자가 어디서 에너지를 얻는가 라는 질문입니다.
전자는 전기장이 있는 곳에서 에너지를 얻습니다. 당연히 bulk plasma 영역에서는
에너지를 쉽게 얻기 힘듧니다. DC 방전의 경우에는 cathode fall 영역
즉 음극판 앞에서 형성되는 쉬스영역에서 전자가 가속되게 됩니다.
특히 입사되는 이온에 의해서 발생된 이차전자등이 이 영역에서
효율적으로 가속을 받습니다. 중요한 것은 전기장의 방향이 음극판을 향함으로 전자는 bilk plasma 영역으로
나가게 되며 진행되는 전자가 이온화 반응등을 경험하게 됩니다.
이렇게 만들어진 플라즈마는 bulk 영역으로 확산되어 퍼지고 이렇게
확산되어 퍼진 영역을 positive column이라는 양광주영역으로 우리가
플라즈마라고 하는 곳입니다.
또한 RF 에서도 전극 주변의 쉬스에서 전자들이 에너지를 받기도 합니다. 이에 덧붙혀서 주기적으로 변하는 전기장의 방향에 따라서 전자들이
주기적으로 움직이게 됩니다. 쉬스로 향하는 전자들은 쉬스 전위가 낮음으로 되돌아 가게 되는데 이때 쉬스전위가 더 낮아지게 되면 되돌아
가는 전자에 에너지를 더 넣어 줄 수 있습니다. 마치 테니스 공을
되받아 치는 효과 혹은 박찬호의 빠른 공이 맞으면 홈런이 잘되는
이유와 같이 전자가 에너지를 얻게 됩니다. 이는 CCP 플라즈마에서
전자가 에너지를 얻는 방법이기도 합니다.
아울러 ICP등의 플라즈마에서는 공간내에 형성되는 전기장, 이는 안테나
등으로 부터 만들어지거나 외부에서 wave의 형태로 입사된 전기장을
받아 가속되는 경우인데 이는 플라즈마 내에서도 가속되는 경우에
해당합니다.  
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91225
22 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 355
21 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 133
20 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 188
19 플라즈마 살균 방식 [2] 11387
18 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 707
17 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1437
16 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2067
15 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 945
14 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3431
13 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1018
12 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2710
11 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1897
10 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2155
9 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3542
8 안녕하세요 교수님. [1] 8968
7 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13029
» 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17708
5 DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. 134413
4 Breakdown에 대해 21311
3 plasma와 arc의 차이는? 24449

Boards


XE Login